技術(shù)編號：2472847
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及的是一種微機電系統(tǒng)的材質(zhì)和方法，具體是一種摻雜納米 SiO2的聚合物復(fù)合薄膜及其制備方法。背景技術(shù)聚對二甲苯(Parylene)薄膜是目前國際上應(yīng)用最為廣泛的聚合物材料之一，它是一種高結(jié)晶度的熱塑性高分子材料。到目前為止Parylene家族已形成一系列性質(zhì)相近的多種型號，通常采用化學(xué)氣相沉積技術(shù)制備(Gorham方法)。Parylene C是以一個氯原子取代對二甲苯苯環(huán)上的一個氫原子得到的聚合物。它具有優(yōu)異的生物相容性，氣體與水蒸氣阻隔性能，光學(xué)...
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