技術編號：2466815
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種。背景技術近年來，氧化鋅(Zn0)透明導電膜得到了非常廣泛的研究。氧化鋅薄膜相對于銦 錫氧化物(ITO)而言，具有原材料豐富、無毒、摻雜可以提高薄膜的電導率和穩(wěn)定性等優(yōu) 點。作為一種重要的光電子信息材料，氧化鋅透明導電膜優(yōu)良的光電特性使其在太陽能電 池、液晶顯示器、熱反射鏡等領域得到廣泛的應用。 未摻雜的ZnO薄膜的電阻很高，導電性能差，為了得到更優(yōu)異的電學性能，通常會 進行ZnO的摻雜，主要是III主族元素。在所有的摻雜元素中，Ga和Zn原...
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