技術(shù)編號：2466416
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于各類刀刃具、模具的表面強化薄膜處理。涉及超硬TiB2/Si3N4 納米多層膜及其制備方法。更具體的說是一種采用高真空離子束輔助沉積系統(tǒng)(IBAD)制備超硬TiB2/Si3N4納米多層膜的方法。背景技術(shù)硼化物陶瓷是一類具有特殊物理性能與化學(xué)性能的陶瓷。由于它具有極高的熔點、 高的化學(xué)穩(wěn)定性、高的硬度和優(yōu)異的耐磨性而被作為硬質(zhì)工具材料、磨料、合金添加劑 及耐磨部件等，同時這類材料又具有優(yōu)良的電性能，可作為惰性電極材料及高溫電工材 料而引人注目。近幾十...
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