技術(shù)編號：2458755
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明整體上涉及光刻術(shù)，更具體地涉及氣動軸承。光刻術(shù)被廣泛認為是制造集成電路(IC)以及其他器件和結(jié)構(gòu)的關(guān)鍵工藝。光刻設(shè)備是一種在光刻期間使用的機器，該機器將圖案施加到襯底上，諸如是襯底的目標(biāo)部分上。在用光刻設(shè)備制造IC期間，圖案形成裝置(可選地稱為掩?；蜓谀０?生成在IC的單層上待形成的電路圖案?？梢詫⒃搱D案轉(zhuǎn)移到襯底(例如，硅晶片)上的目標(biāo)部分(例如，包括一部分管芯、一個或幾個管芯)上。所述圖案的轉(zhuǎn)移通常是通過將圖案成像到提供到襯底上的輻射敏感材料(例...
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