技術(shù)編號：2442992
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。基片上的可光聚合干膜的濕層疊以及與濕層疊有關(guān)的組合物 發(fā)明領(lǐng)域本發(fā)明一般涉及將可光聚合的干膜(有時稱作光致抗蝕劑)層疊在基片上。 更具體地，本發(fā)明的濕層疊方法和組合物涉及改進(jìn)的濕層疊液體組合物及方 法，結(jié)果是改進(jìn)光致抗蝕劑的性能。背景技術(shù)將干膜光致抗蝕劑施用于基片時1. 可發(fā)生不希望有的空氣夾帶，特別當(dāng)層疊界面的表面是不規(guī)則的或者 是非平面時可發(fā)生上述現(xiàn)象；和2. 不希望有的殘余材料(如，防銹殘余物，如，基片表面是銅或不銹鋼時) 會阻礙干膜的粘合，因此，如...
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