技術(shù)編號：2412198
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及中等氣壓下產(chǎn)生輝光放電的卷對卷式介質(zhì)阻擋放電裝置及放電エ藝。背景技術(shù)氟碳(FC)薄膜是ー種新型含氟碳材料，具有很強的疏水性，同時還具有優(yōu)良的自潤滑性，極低介電常數(shù)，耐腐蝕性。氟碳(FC)薄膜可以作為介電層應(yīng)用在超大規(guī)模集成電路中，可以作為鈍化層應(yīng)用在生物相融性材料中，也可以作為疏水層應(yīng)用在紙張、壁畫等材料上。介質(zhì)阻擋放電(dielectric barrier discharge, DBD),是有絕緣介質(zhì)插入放電空間的ー種非平衡態(tài)氣體放電，是最早成...
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