技術(shù)編號：2376214
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明公開了一種雙彈簧預(yù)緊柔性解耦直線電機定位平臺，包括基座和工作平臺，所述工作平臺設(shè)有X向驅(qū)動機構(gòu)和Y向驅(qū)動機構(gòu)，所述X向驅(qū)動機構(gòu)和所述Y向驅(qū)動機構(gòu)的直線電機定子均固定在所述基座上，Y向定位平臺上設(shè)有X向工作平臺導(dǎo)軌，X向工作平臺導(dǎo)軌上設(shè)有與其滑動連接的所述工作平臺，所述工作平臺通過雙彈簧預(yù)緊柔性解耦機構(gòu)與所述X向定位平臺連接。本發(fā)明采用直線電機直接驅(qū)動運動部件，通過設(shè)計雙彈簧預(yù)緊柔性解耦機構(gòu)實現(xiàn)定位平臺的運動解耦，以高精度的光柵傳感器作為末端反饋元件，...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。