技術(shù)編號(hào)：2375712
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種基于柔性鉸鏈的三自由度精密調(diào)節(jié)裝置。該裝置安裝在浸沒式光刻機(jī)的主框架和浸沒單元之間，其安裝基板和運(yùn)動(dòng)平臺(tái)之間由三組相同的運(yùn)動(dòng)支鏈以并聯(lián)方式相連；每組運(yùn)動(dòng)支鏈由豎直直線運(yùn)動(dòng)模塊、連接桿固定塊、緊固螺栓、連接螺栓組成；豎直直線運(yùn)動(dòng)模塊由直線運(yùn)動(dòng)副、關(guān)節(jié)軸承、壓縮彈簧、關(guān)節(jié)軸承端蓋、端蓋螺栓、連接桿組成；在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上與每組運(yùn)動(dòng)支鏈對(duì)應(yīng)的位置分別有一組并聯(lián)的柔性鉸鏈。本發(fā)明用以實(shí)現(xiàn)浸沒式光刻機(jī)浸沒單元的安裝固定和空間位姿調(diào)節(jié)，實(shí)現(xiàn)浸沒單元亞微米級(jí)定...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。