技術(shù)編號：2375609
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是一種以電磁力驅(qū)動的超高精度定位工作臺，包括底座、固定安裝在所述機(jī)座上的直線導(dǎo)軌、配合所述直線導(dǎo)軌以直線往復(fù)移動的滑臺，在所述滑臺與所述底座相對的一面上安裝一塊磁體，在所述磁體下方的所述底座上設(shè)置有線圈，在所述滑臺的一個側(cè)面下端還安裝有光柵尺，在所述光柵尺運動軌跡下方的所述底座上固定安裝有感應(yīng)頭。采用本發(fā)明技術(shù)方案，工作臺可獲得大推力，實現(xiàn)高速、高精度、高響應(yīng)性定位，此外，采用電磁驅(qū)動方式，機(jī)械接觸部分只有直線導(dǎo)軌設(shè)備，因此可實現(xiàn)高潔凈度、低噪音甚至...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。