技術編號：2343307
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型屬于工業(yè)機器人，特別是涉及一種平面多關節(jié)型機器人手臂 機構。背景技術隨著電子、航天、軍事和生物醫(yī)藥等工業(yè)的不斷發(fā)展，現代工業(yè)產品和現代科學實 驗活動要求微型化、精密化、高純度、高質量和高可靠性，要求半導體元器件在相當高的潔 凈度環(huán)境下加工。用于半導體器件搬運的小型機器人，必須能夠適應高潔凈度而空間狹小的使用環(huán) 境，同時滿足結構簡單緊湊、結構剛度高、運動靈活可靠、重復定位精度高和可靠性高的要 求。為了提高工作效率，通常將兩組機械手臂安裝在同一回轉平...
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