技術(shù)編號：2334296
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體真空機(jī)器手同步位置控制裝置同步兩路碼盤采 樣高精度細(xì)分電路，具體地說是一種為真空機(jī)器手控制器提供兩路同步采 樣的高精度位置檢測硬件電路，即高精度同步雙碼盤細(xì)分采樣裝置。該電 路從硬件角度提供一種同步采樣機(jī)制來提高通過同步位置控制裝置調(diào)節(jié)后 的執(zhí)行機(jī)構(gòu)的同步效果，同時通過硬件電路的細(xì)分以提高系統(tǒng)的控制精度 和運(yùn)行的平穩(wěn)性。背景技術(shù)在真空機(jī)器手是IC裝備當(dāng)中的重要功能部件，蛙手連桿機(jī)構(gòu)是在真空機(jī)械手中普遍采用的一種機(jī)械結(jié)構(gòu)。該結(jié)構(gòu)屬于一種并...
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