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一種具有冗余支鏈的二平動微動平臺的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2329578

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本發(fā)明屬于制造,具體是涉及一種具有冗余支鏈的二平動微動平臺。 背景技術(shù)隨著科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展和進(jìn)步,人類研宄的科學(xué)領(lǐng)域已深入到我們不能直接感受到的 微觀領(lǐng)域,如醫(yī)學(xué)、生物、光學(xué)、材料和工程等領(lǐng)域,其工作對象越來越小,完成這類工作 必須借助于特殊的工具和手段,因此,微動平臺的研究成為微觀領(lǐng)域的關(guān)鍵技術(shù)。采用柔性 鉸鏈的并聯(lián)微動平臺具有無摩擦、無間隙、響應(yīng)快、結(jié)構(gòu)緊湊等特點,因此廣泛應(yīng)用于染色 體切割、芯片制造、微機(jī)電產(chǎn)品的加工、裝配等細(xì)微操作領(lǐng)域。如瑞士 E...
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