技術編號：2313442
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及傳感器器件、傳感器模塊、機器人以及傳感器器件的制造方法。背景技術以往，作為使用壓電材料的力傳感器公知有專利文獻I的裝置。所公開的力傳感器，利用作為壓電材料的結晶圓板16夾持專利文獻I的圖15所示的信號電極15，并且如專利文獻I的圖4所示，通過焊接將多個被金屬罩圓板17夾持的測定元件配置在金屬環(huán)14內。另外，圖13表示現(xiàn)有技術的傳感器器件。如圖13所示，傳感器器件200的整體由傳感器元件214、具有收容傳感器元件214的凹部的金屬制造的封裝202、...
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