技術(shù)編號(hào)：2313441
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及傳感器器件、傳感器模塊、力檢測(cè)裝置以及機(jī)器人。背景技術(shù)以往，作為使用壓電材料的力傳感器，已知有專利文獻(xiàn)I的裝置。所公開的力傳感器，利用壓電材料即結(jié)晶圓板16夾持專利文獻(xiàn)I的圖15所示的信號(hào)電極15，并且如專利文獻(xiàn)I的圖4所示，通過焊接將多個(gè)被金屬罩圓板17夾持的測(cè)定元件配置在金屬環(huán)14內(nèi)。另外，圖14表示現(xiàn)有技術(shù)的傳感器器件。如圖14所示，傳感器器件200整體包括傳感器元件214、具有收容傳感器元件214的凹部的金屬制造的封裝202、以及與封裝2...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。