技術(shù)編號：2308892
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種自動機(jī)械手送取片裝置，應(yīng)用于電子束曝光機(jī)中，也可用于工業(yè)自動化中的工件送取傳輸?shù)阮I(lǐng)域。背景技術(shù)以前的送取片機(jī)構(gòu)采用雙浮動滑板和彈簧實(shí)現(xiàn)機(jī)械手各個(gè)狀態(tài)位的定位，很難實(shí)現(xiàn)高精度的定位；長時(shí)間的使用，由于機(jī)械部分的磨損、彈簧的應(yīng)力疲勞等容易造成機(jī)械手對片夾的碰撞或抓不到片等現(xiàn)象。針對上述機(jī)械手定位精度低、可靠性不高等問題。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的技術(shù)解決問題是機(jī)械手在曝光前送片和曝光后取片時(shí)能將抓手及時(shí)準(zhǔn)確的打開與閉合，可靠的完成送取片功能。為實(shí)現(xiàn)所述目的...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。