技術(shù)編號：2307589
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型有關(guān)一種移動(dòng)單位準(zhǔn)確、精度穩(wěn)定且更精減成本的視覺對位裝置，適用于上膠網(wǎng)印半導(dǎo)體工藝或類似工藝結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)由于高科技產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，各種產(chǎn)業(yè)機(jī)械、工具機(jī)及量測儀器的精度要求也越來越高。而載具平臺是影響上述各機(jī)具精度最主要的因素之一，目前已有多種載具平臺被使用，大致上可分為串聯(lián)式平臺與并聯(lián)式平臺。串聯(lián)式平臺是目前常見的載具平臺，該形式的平臺是以一軸加一軸加一軸......的方式組裝，每一個(gè)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)控制單一軸向運(yùn)動(dòng)，組裝的精度會直接影響平臺的精度，以串聯(lián)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。