技術(shù)編號(hào)：2006586
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明的領(lǐng)域涉及提高線鋸梁的熱性能和結(jié)構(gòu)性能，該線鋸梁是單晶或多晶錠與 錠保持架之間的中間膠結(jié)材料，該錠保持架用于錠或可切成晶片的其它材料的線鋸切割 中。背景技術(shù)半導(dǎo)體級(jí)晶片一般由單晶錠——例如單晶硅錠——制備而成。將錠切成單獨(dú)的晶 片，然后對(duì)該晶片進(jìn)行大量的加工操作(例如研磨、蝕刻和拋光)，從而去除由切片操作引 起的損壞，并產(chǎn)生相對(duì)光滑的具有均勻厚度和成品前表面的成品晶片。可使用內(nèi)圓(“ID”)鋸或線型鋸(“線鋸”)從錠切硅晶片。與一次只能產(chǎn)生單 個(gè)晶片...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。