技術(shù)編號：1989345
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于微電子，涉及半導(dǎo)體薄膜材料及其制備方法，具體地說是。背景技術(shù)在基礎(chǔ)和應(yīng)用科學(xué)領(lǐng)域，碳族材料的研究一直是件令人興奮的事情。雖然碳族材料比如石墨很早就在工業(yè)中應(yīng)用，但是直到1950年左右石墨的電子結(jié)構(gòu)才被深入研究。隨著納米科技的興起，碳的其他同素異形體不斷被研究。1985年Harold等人發(fā)現(xiàn)了碳的零維結(jié)構(gòu)富勒烯C6tl，這一發(fā)現(xiàn)是納米科技領(lǐng)域發(fā)展的重要一步至今人們還在探索其性質(zhì)與電子 應(yīng)用。1991年，一維的碳納米管由Ijima發(fā)現(xiàn)，因為它獨特的物...
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