技術(shù)編號：1985776
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種取向可控、環(huán)境友好無鉛壓電薄膜的制備方法，具體為，屬于鐵電薄膜材料領(lǐng)域。背景技術(shù)從20世紀80年代至今，半導體器件工藝及薄膜制備技術(shù)的迅速發(fā)展，引起人們對于鐵電壓電薄膜在存貯器、微電子機械系統(tǒng)、高頻微電子等領(lǐng)域中應(yīng)用的濃厚興趣，世界各國爭相開展鐵電壓電薄膜的制備研究，應(yīng)用領(lǐng)域遍及通信、傳感、醫(yī)療、航天、機械、生物等眾多領(lǐng)域。在鐵電存貯器、微型傳感器、驅(qū)動器等應(yīng)用中，目前常見的主要是以鋯鈦酸鉛(PZT)為代表的壓電薄膜材料。這類薄膜因具有大的剩...
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