技術(shù)編號：1983073
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種由エ件切分晶圓的方法，其中，在鋸切操作過程中，鋸切線的以平行方式布置的線段被相對于エ件弓I導(dǎo)，因此形成晶圓。現(xiàn)有技術(shù)這種類型的方法使用線狀鋸進(jìn)行。例如，在US 2002/0174861 Al或US2010/0089377 Al中描述了線狀鋸的基本結(jié)構(gòu)和功能。因此，適當(dāng)?shù)木€狀鋸包括至少兩個導(dǎo)線輥，鋸切線圍繞其多重纏繞。這產(chǎn)生了張緊在兩個導(dǎo)線輥之間并且以平行的形式設(shè)置的線段，并且這些線段形成線網(wǎng)，在鋸切操作過程中エ件被移動穿過線網(wǎng)。還已知了其中線...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。