技術(shù)編號：1980978
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明關(guān)于陶瓷材料、層疊體、半導(dǎo)體制造裝置用構(gòu)件及濺射靶材。背景技術(shù)半導(dǎo)體制造中干法工藝和等離子涂層等使用的半導(dǎo)體制造裝置中，作為蝕刻用和清洗用，使用的是反應(yīng)性高的F、Cl等的鹵素系等離子體。因此，安裝于此種半導(dǎo)體制造裝置的構(gòu)件，要求有高耐腐蝕性，一般使用經(jīng)過氧化鋁膜(alumite)處理的鋁和耐蝕耐熱鎳基合金(Hastelloy)等的高耐腐蝕金屬和陶瓷構(gòu)件。特別是支撐固定Si晶圓的靜電卡盤材料和加熱器材料，由于必須有高耐腐蝕和低起塵性，使用的是氮化鋁、氧...
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