技術(shù)編號:1976337
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種釔摻雜的AZO靶材及其制備方法本發(fā)明涉及光電材料領(lǐng)域,尤其涉及一種釔摻雜的AZO靶材及其制備方法。背景4支術(shù)近年來隨著液晶顯示器與太陽能電池的發(fā)展,使得透明導(dǎo)電薄膜成為關(guān)鍵 性材料之一,如何降低透明導(dǎo)電薄膜材料成本與提高薄膜材料的性能為目前的 首要目標(biāo)。透明導(dǎo)電氧化物(Transparent Conductive Oxide,筒稱TCO)薄膜主要 包括In、 Sn、 Sb、 Zn和Cd的氧化物及其復(fù)合多元氧化物薄膜材料,具有禁帶 寬、可見光譜區(qū)光透射率...
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