技術編號:1971877
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及采用多線切割法加工硅片過程中所產生廢料的回收利用,尤其是涉及。背景技術目前光伏電池硅片和半導體硅片的產業(yè)化生產采用多線切割方式。多線切割加工生產所用的主要耗材是特制的碳化硅線切割專用刃具和聚乙二醇切削液混配而成的料漿。以當前的技術水平,每生產1MW的太陽能級單晶硅片需消耗碳化硅專用刃料10-14噸,切削液10-14噸。長期以來,這些經過使用的廢棄漿料(其主要含量為碳化硅、硅微粉、聚乙二醇切割液、金屬雜質和水),已成為硅片切割行業(yè)的沉重負擔,大量的...
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