技術(shù)編號：1960509
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種氮化鋁覆銅膜前體及其制備方法、氮化鋁覆銅膜及其制備方法本發(fā)明涉及一種氮化鋁覆銅膜前體及其方法、氮化鋁覆銅膜及其制備方法，尤其 是用于導(dǎo)電散熱部件的氮化鋁覆銅膜前體及其方法和氮化鋁覆銅膜及其制備方法。背景技術(shù)長期以來，絕大多數(shù)功率混合集成電路的陶瓷封裝材料一直沿用氧化鋁(A1203) 和氧化鈹(BeO)陶瓷，但由于性能、環(huán)保、成本等因素逐漸顯露出已不能完全適合功率電子 器件發(fā)展的需要；并且，大規(guī)模集成電路技術(shù)的發(fā)熱功率密度相比以往大大提高，熱控問 題已成...
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