技術(shù)編號：1958908
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種石英玻璃管的生產(chǎn)方法，特別是連熔一步法生產(chǎn)超大口 徑抗高溫變形石英玻璃管。 背景技術(shù)石英玻璃工業(yè)用連熔法生產(chǎn)抗高溫變形石英管，目前的工藝是先期用連熔法生產(chǎn)大規(guī)格透明石英管，此種石英管應(yīng)用在6"和8"集成電路硅片高溫擴(kuò)散上，要二次對石英管內(nèi)外進(jìn)行高溫氧化鋁涂層，才能達(dá)到抗高溫變形功能。 具體生產(chǎn)與技術(shù)工藝步驟為-O將經(jīng)過提純的石英原料投入O530mm連熔爐鎢坩堝內(nèi)；② 對連熔爐通電熔融，經(jīng)過220(TC的高溫使石英原料融化；③ 熔融料經(jīng)拉管機(jī)牽...
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