技術(shù)編號(hào)：1911675
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供一種具有微結(jié)構(gòu)鋯鈦酸鉛PZT厚膜的制備方法，其特征在于，所述方法包括在基片的表面制備圖形化的氧化鋅犧牲層；將PZT漿料涂覆在所述氧化鋅犧牲層上，在200℃～500℃條件下，進(jìn)行1～60分鐘的預(yù)結(jié)晶處理；再在600℃～1000℃條件下，進(jìn)行1～180分鐘的結(jié)晶處理；將表面覆有所述PZT漿料的所述基片置入腐蝕液中，剝離后得到具有微結(jié)構(gòu)的PZT厚膜。本制備方法通過采用改良漿料和熱處理的工藝，能明顯提高PZT厚膜的表面平整度和致密度。同時(shí)，通過氧化鋅作為...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。