技術(shù)編號：1876663
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種氮化硅基板的制造方法，該氮化硅基板含有以氮化硅粒子為主體的主相和主要由燒結(jié)助劑形成的晶界相，在所述制造方法中，使用含有氮化硼粉末、有機(jī)粘合劑和有機(jī)溶劑的氮化硼糊，在含有氮化硅粉末、燒結(jié)助劑粉末和有機(jī)粘合劑的板狀成型體的表面形成分離層，加熱該分離層和成型體，從分離層和成型體中除去有機(jī)粘合劑，然后，對隔著分離層多片層疊的成型體進(jìn)行燒結(jié)。上述氮化硼糊按照下述方式構(gòu)成含有0.01～0.5質(zhì)量%的氧(O)和0.001～0.5質(zhì)量%的碳(C)，在將所述氮化硼糊的氮...
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