技術(shù)編號：1858597
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型屬于單晶硅片制造工裝，涉及一種單晶硅片運(yùn)轉(zhuǎn)車。 背景技術(shù)在單晶硅片切割工藝流程中，切割機(jī)切割單晶硅方錠后就生產(chǎn)了最終產(chǎn)品單晶硅片，由于單晶硅片中含有大量的金剛砂漿等殘留物質(zhì)，需要單晶硅片運(yùn)轉(zhuǎn)車將單晶硅片送到清洗線上進(jìn)行清洗。傳統(tǒng)的單晶硅片運(yùn)轉(zhuǎn)車包括底盤，該底盤上固定有門形立柱，所述門形立柱上安裝有橫梁，該橫梁上安裝有左橫臂和右橫臂，在左橫臂和右橫臂之間安裝有硅片槽，單晶硅片就放在硅片槽中。但現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)是當(dāng)單晶硅片運(yùn)轉(zhuǎn)車載著單晶硅片在生產(chǎn)車間之...
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