技術編號：1856101
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及電極結構，具體為一種用于生產石英玻璃坩堝的電極結構。 背景技術根據旋轉模具法生產石英玻璃坩堝的工藝是這樣的存放在旋轉模具內的石英砂粉末通過電弧放電加熱和熔化，生產出石英玻璃坩堝，坩堝內側為透明石英玻璃層，外側為不透明層，對于傳統(tǒng)的形成電弧放電的電極結構，設置有三個電極，三相交流電流過所述三個電極，在電極之間形成等離子電弧放電。目前，硅單晶生產中對石英坩堝直徑的要求越來越大，而這種傳電極結構的缺點暴露的也更加明顯當電極之間的距離增加以便擴大加熱...
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