技術(shù)編號:1856100
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及氮氣流量調(diào)節(jié)裝置,具體為一種用于制造石英坩堝中的氮氣流量自動調(diào)節(jié)裝置。背景技術(shù)在石英坩堝的制造過程中,往石英坩堝生產(chǎn)裝置內(nèi)充入氮氣可以保護石墨模具本體,提高模具的使用率,還可以減少坩堝內(nèi)壁氣泡的發(fā)生,從而提高產(chǎn)品的品質(zhì)。目前普遍應(yīng)用的氮氣流量調(diào)節(jié)裝置多由III型儀表組成,該種配置僅適用于一種壓力下的流量調(diào)節(jié),而且流量調(diào)節(jié)非常不穩(wěn)定,不能滿足使用工藝要求,所以均在管道上增加一手動截止閥,需要手動調(diào)節(jié)。其存在的缺點包括1、操作不便,工藝過程調(diào)節(jié)次...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。