技術(shù)編號:1855167
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種將形成在基板上的膜部分剝離或去除的構(gòu)圖裝置(I^tterning device)0背景技術(shù)以往,已知有一種通過向 CIGS(Copper Indium Gallium DiSelenide,銅銦鎵硒) 系太陽電池的表面擠壓刀尖,使形成在太陽電池表面上的膜剝離而執(zhí)行槽加工的技術(shù)(構(gòu)圖)(例如參照專利文獻(xiàn)1)。例如,與此相當(dāng)?shù)挠袨榱嗽谔栯姵赜没宓亩瞬柯冻鱿虏侩姌O,而相對寬幅地剝離或去除形成在下部電極上的膜的步驟(也稱為切削步驟)等。先行技術(shù)文...
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