技術(shù)編號(hào):1850157
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于陶瓷-金屬封接,涉及用于Al2O3陶瓷表面鎢金屬化的漿料配方及其制備方法。主要有兩個(gè)方面的內(nèi)容,首先是采用一定級(jí)配的鎢粉以確保金屬化層有較低的孔隙率;其次是采用溶膠-凝膠法制備超細(xì)顆粒的玻璃粉,促進(jìn)鎢金屬化層的致密化,從而降低鎢金屬化層的表面方阻。背景技術(shù)Al2O3陶瓷具有機(jī)械強(qiáng)度高,絕緣電阻大,膨脹系數(shù)與芯片相匹配等特性,是微電子封裝領(lǐng)域最常見的基板材料或封裝殼體材料。為了使電子器件或封裝殼體具有高強(qiáng)度和高氣密性,Al2O3陶瓷常需要與可伐合金...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。