技術(shù)編號：1846337
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。存在多種用于在不同基材上生產(chǎn)各種涂層的涂覆工藝。在一大批涂覆工藝中，待沉積的物質(zhì)或其前體的至少一部分在該工藝的某階段為氣態(tài)、蒸氣或氣溶膠形式，氣溶膠是指氣體與包含固相或液相或者它們的混合物的顆粒的混合物?；瘜W(xué)氣相沉積(CVD)工藝常用于在不同基材例如金屬、陶瓷或玻璃上生產(chǎn)涂層。在CVD工藝中，將前體化合物在反應(yīng)器中蒸發(fā)使得將所產(chǎn)生的氣體混合物均勻地鋪展在基材之上。氣相中的反應(yīng)發(fā)生在熱表面的附近?？蓪怏w和液體均給進(jìn)到反應(yīng)器中。CVD工藝的各種替代方式包括例...
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