技術(shù)編號:1844386
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及高純度合成石英玻璃粒子,特別涉及能夠很好地作為半導(dǎo)體熱處理部件、單晶硅拉拔用坩堝和燈材等的原料使用的具有高粘性的高純度合成石英玻璃粒子。背景技術(shù) 廣泛用作產(chǎn)業(yè)部件的石英玻璃大致分為兩類。一類是以天然水晶、硅石為原料的天然石英玻璃,另一類是以四氯化硅等為原料的合成石英玻璃。作為天然石英玻璃原料的天然水晶或天然硅石,在印度或美國南卡羅來納、巴西、馬達加斯加等采掘,將其粉碎以后,進行礦石浮選或氟酸處理。例如,由偉晶巖系原料精制半導(dǎo)體用石英玻璃原料的情況...
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