技術(shù)編號：1844226
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及含有多成分的玻璃基板用的微細(xì)加工表面處理液，更具體地講涉及在制造半導(dǎo)體元件時(shí)，對于為了微細(xì)加工而含有各種陽離子以及陽離子氧化物的玻璃基板進(jìn)行濕式蝕刻·洗凈目的，以及蝕刻·洗凈含有微細(xì)加工完的半導(dǎo)體元件的玻璃基板表面目的極其有效的含有多成分的玻璃基板用的微細(xì)加工表面處理液。背景技術(shù) 在制造平板顯示器用的濕式工藝中，含有各種陽離子以及陽離子氧化物的玻璃基板表面及其微細(xì)加工完的表面的蝕刻·洗凈以及圖案的清潔化·精密化，隨著顯示器的高精細(xì)化的進(jìn)展其必要性...
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