技術(shù)編號：1843671
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種使用OVD方法制造玻璃顆粒沉積體的裝置和方法，更確切地說，是涉及能在沉積操作時防止雜質(zhì)混入玻璃顆粒沉積體的玻璃顆粒沉積體制造裝置及方法。背景技術(shù) 在使用OVD方法中通過把SiCl4或GeCl4的玻璃原料氣體從燃燒器供給氫氧氣火焰，由于火焰的水解反應(yīng)產(chǎn)生SiO2或GeO2玻璃顆粒，玻璃顆粒被沉積在圍繞一個起始棒的徑向方向，在用OVD(Outside VapourDeposition外汽相沉積)方法制造玻璃顆粒沉積體時，由燃燒器產(chǎn)生的玻璃顆粒被沉...
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