技術編號：1832464
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種基板校正裝置，特別是涉及一種應用于玻璃基板的校正裝置。背景技術 蝕刻機臺10是用以蝕刻玻璃基板20，如圖1所示，蝕刻機臺10內(nèi)部包括輸送臺11、基板交換室(load lock chamber)12、輸送腔體13、第一程序腔體(PC1)14、第二程序腔體(PC2)15、第三程序腔體(PC3)16以及機械手17、18。玻璃基板20設在輸送臺11上，經(jīng)由機械手17傳送到基板交換室12，使玻璃基板處于真空環(huán)境中，再將玻璃基板20輸送到輸送腔體13中，...
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