技術(shù)編號(hào)：1822358
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明總體上說涉及利用橢圓形光的自動(dòng)聚焦控制裝置。本發(fā)明涉及在用于平版印刷半導(dǎo)體制造和CD盤(CD)播放機(jī)的設(shè)備中、利用橢圓形光將工件置于投影透鏡的聚焦深度(focus-depth)范圍或?qū)D盤置于讀出光束的聚焦面上的自動(dòng)聚焦控制裝置。用于平版印刷半導(dǎo)體制造的曝光裝置把在掩模上幾何形的圖形轉(zhuǎn)移到半導(dǎo)體晶片的一薄膜覆蓋的表面上。為了轉(zhuǎn)移掩膜上的圖形，該晶片和工件必須在投影透鏡的聚焦景深之內(nèi)。在光盤上以凹痕形式記錄信息，再用光源讀出該信息。一般以激光器生成讀...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。