技術編號：1810022
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于炭/炭保溫材料，具體涉及一種厚尺寸多晶硅氫化爐用炭/ 炭保溫罩的制備方法。背景技術目前，生產多晶硅的主要方法為改良西門子法，采用改良西門子法生產的多晶硅 占全球多晶硅總產量的80%以上。在改良西門子法生產多晶硅產品時，氫化爐為循環(huán)系統(tǒng) 即反應產物回收的一個步驟，即將生成多晶硅制品反應產生的副產物SiCl4與H2反應生成 SiHCl3原料進行重新利用。氫化爐熱場產品包括保溫罩、隔熱屏、發(fā)熱體及隔熱底板，其中， 保溫罩位于隔熱屏外爐殼內，起到保溫節(jié)能...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。