技術(shù)編號(hào)：1805533
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種遮熱裝置，特別是涉及一種在石英坩堝熔制過程中的水冷管及具有該水冷管的石英坩堝遮熱板，屬于石英坩堝熔制爐部件。背景技術(shù)隨著大規(guī)模集成電路集成度的不斷提高，單晶硅也向高純度發(fā)展，從而對其在拉制過程中輔助性容器一石英坩堝的要求也越來越高。目前的石英坩堝大部分是采用電弧法來熔制，在熔制過程中通過電極放電產(chǎn)生高溫電弧來熔化石英砂，電弧焰的高溫會(huì)對石英坩堝熔制設(shè)備的其他部件產(chǎn)生副作用，因此需在模具上方需要加裝遮熱裝置。遮熱裝置采用的多為內(nèi)部中空結(jié)構(gòu)，...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。