技術(shù)編號：1799958
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種熱障涂層&02低導(dǎo)熱石英管的制備方法，具體涉及用連熔法直接生產(chǎn)涂層^O2石英管的技術(shù)方法。背景技術(shù)石英玻璃工業(yè)用連熔法生產(chǎn)抗高溫石英管，目前的工藝是先期用連熔法生產(chǎn)大規(guī)格透明石英管，此種石英管應(yīng)用在6"和8"集成電路硅片高溫擴(kuò)散上，要二次對石英管外壁進(jìn)行高溫氧化鋁涂層，才能達(dá)到抗高溫功能。目前通用的具體生產(chǎn)與技術(shù)工藝步驟為1、將經(jīng)過提純的石英原料投入Φ350-450πιπι連熔爐鎢坩堝內(nèi)；2、對連熔爐通電熔融，經(jīng)過2200°C的高溫使...
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