技術(shù)編號：1678661
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明是一種微納級電磁柵尺及其制造裝置及制造方法及位移檢測系統(tǒng)。本發(fā)明的微納級電磁柵尺是基于電感效應(yīng)的微納級電磁柵尺，通過電磁傳感器利用電磁感應(yīng)原理將被測非電量（如位移、壓力、流量、振動等）轉(zhuǎn)換成線圈自感系數(shù)L或互感系數(shù)M的變化，再經(jīng)過測量電路轉(zhuǎn)換為相應(yīng)電壓或電流的變化量輸出，從而實現(xiàn)非電量到電量的轉(zhuǎn)換和測量。本發(fā)明微納級電磁柵尺制造方法是基于近場電紡直寫技術(shù)，設(shè)計加工簡單易操作，便于大規(guī)模制造，得到的柵線平行度好，且刻線均勻。本發(fā)明微納級電磁柵尺的制造裝...
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