技術(shù)編號(hào):1561917
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種合成活性研磨顆粒的組合物及其方法;更確切地說(shuō),涉及一種。所合成的氧化鈰研磨顆粒主要用于半導(dǎo)體制造中的介電層研磨液或液晶顯示器(LCD)制造中的玻璃基板研磨液。因氧化鈰研磨劑具有優(yōu)越的磨蝕性,所以在現(xiàn)代工業(yè)領(lǐng)域中的應(yīng)用范圍越來(lái)越廣。舉例來(lái)說(shuō),在半導(dǎo)體制造中,氧化鈰以其對(duì)于SiO2有著相當(dāng)大的磨除率,而適用于絕緣層的平坦化步驟;在液晶顯示器(LCD)等光電領(lǐng)域中,氧化鈰又以其對(duì)于素玻璃(MotherGlass)的優(yōu)越研磨效果而得以廣泛地應(yīng)用。近來(lái)...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。