技術(shù)編號(hào):1510984
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種清洗裝置,尤其是涉及一種硅晶圓多線切割用粘棒托板超聲清洗槽。背景技術(shù)目前,對(duì)硅棒粘接過(guò)程中所使用的托板(即粘棒托板)進(jìn)行清洗,通常均在超聲清洗槽中進(jìn)行清洗,上述粘棒托板通常為玻璃板。但是,采用上述超聲清洗槽對(duì)托板進(jìn)行清洗時(shí),由于被清洗的托板無(wú)法在槽體中進(jìn)行固定,因而只能沿槽體的對(duì)角線放置。這樣,實(shí)際采用此種沿槽體對(duì)角線對(duì)托板進(jìn)行放置時(shí),一次性在槽體中所放置的托板數(shù)量有限,能一次同時(shí)放入槽體內(nèi)的托板數(shù)量不多,因而沒(méi)有最大化的利用超聲槽,造成...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。