技術(shù)編號：1493303
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制程設(shè)備，特別涉及一種用于晶圓加工工藝中的晶圓盒清 潔設(shè)備。背景技術(shù)半導(dǎo)體晶圓在制造過程中需要極其嚴(yán)格的潔凈度條件，一旦晶圓廠建成后，花費 還遠(yuǎn)不止于此，還將增加維持這些無塵環(huán)境的運(yùn)營成本。這些晶圓廠建造得靈活而牢固，擁 有大型風(fēng)扇和循環(huán)風(fēng)扇用以保持一種無塵環(huán)境和滿足空調(diào)負(fù)載計算的需要；并在不同位置 安裝了空氣粒子監(jiān)測系統(tǒng)，以監(jiān)測任何可能的大量粒子的出現(xiàn)。潔凈度條件要求采用一種 非常嚴(yán)格的著裝規(guī)定。所有晶圓廠的最低要求是工作人員必須身著...
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