技術(shù)編號(hào):1471571
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。用于制造凈化基體或進(jìn)一步處理的清潔基體的方法和裝置本發(fā)明在第一方面涉及制造至少一個(gè)凈化基體,從而特別地,清 潔基體的凈化切割工具體在被清潔之前和/或之后可能又被處理例如 通過(guò)加熱和/或涂覆。 一般來(lái)說(shuō),用于制造這樣的凈化基體的清潔工藝 是非反應(yīng)性或者反應(yīng)性的等離子體腐蝕。在本發(fā)明的第一方面,目標(biāo) 是在待清潔基體的表面區(qū)域附近提供增加的腐蝕等離子體密度以及 也在提到的表面區(qū)域,從而特別地在工具體基體的切割邊緣,的浮凸 和凸角部?jī)?nèi)獲得改進(jìn)的均勻清潔。根據(jù)本發(fā)明...
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