技術(shù)編號：1470496
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。4吏用超聲波振蕩和施加的電場對靜電卡盤的清潔背景技術(shù)靜電卡盤(ESC ),半導(dǎo)體處理設(shè)備(如等離子蝕刻室)的組件， 可用于在例如4匕學(xué)氣相沉積、物理氣相沉積或蝕刻反應(yīng)器中的處J里 期間的半導(dǎo)體晶片或玻璃基板(即，平面顯示器)的傳輸、承載和 /或溫度控制。ESC往往表現(xiàn)出較短的壽命而導(dǎo)致失效，例如，動態(tài) 對準(zhǔn)失效，在ESC和所支撐的基片的底側(cè)之間氦冷卻氣體大量泄漏， 分離時(shí)間增加以及基片粘到ESC或分離失敗。ESC失效的早期會導(dǎo) 致基片破損，影響產(chǎn)量，引起微...
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