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一種晶圓邊緣清洗裝置制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):1460233

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本實(shí)用新型提供一種晶圓邊緣清洗裝置,所述裝置至少包括提供晶圓清洗液的至少一條供應(yīng)管道,具有靠近晶圓邊緣的管道口;所述管道口邊緣設(shè)置有突起;內(nèi)置于所述管道口且與所述突起固定連接的清洗刷;夾持在所述供應(yīng)管道表面且用于固定所述供應(yīng)管道的夾持件;套接在所述夾持件表面且用于控制所述清洗刷接觸或離開(kāi)所述晶圓邊緣主控部件;以及支撐所述晶圓并控制晶圓旋轉(zhuǎn)的控制裝置。本實(shí)用新型提供的晶圓邊緣清洗裝置能夠?qū)A邊緣進(jìn)一步進(jìn)行物理清洗,使得晶圓邊緣的清洗更加徹底,從而減少了晶圓...
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