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一種中大尺寸藍(lán)寶石晶圓圖案化制程蝕刻后清洗裝置及方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):1453632

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本發(fā)明公開(kāi)一種中大尺寸藍(lán)寶石晶圓圖案化制程蝕刻后清洗裝置,由電機(jī)、真空吸附臺(tái)和頂部噴頭組成,真空吸附臺(tái)安裝在電機(jī)的輸出端,真空吸附臺(tái)中形成通氣道,通氣道的下端接氣源,真空吸附臺(tái)上對(duì)應(yīng)藍(lán)寶石晶圓的底面開(kāi)設(shè)一圈出氣孔與通氣道的上端連接,頂部噴頭安裝在真空吸附臺(tái)上方。本發(fā)明還公開(kāi)一種中大尺寸藍(lán)寶石晶圓圖案化制程蝕刻后清洗方法。本發(fā)明可以避免交叉污染的現(xiàn)象,達(dá)到清洗的效果,進(jìn)而提高了后續(xù)圖案化制程及MOCVD制程的成品率及良率。專利說(shuō)明 [0001]本發(fā)明涉...
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