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一種等離子體清洗裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):1398220

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本實(shí)用新型涉及一種清洗裝置,尤其是涉及一種等離子體清洗裝置。 背景技術(shù)在光學(xué)器件和微電子元件等的加工過(guò)程中,表面清洗技術(shù)具有十分重要的地位。 目前,廣泛應(yīng)用的物理化學(xué)清洗方法,從運(yùn)行方式看,大致可分為兩種濕法清洗和干法清 洗。濕法清洗主要依靠物理和化學(xué)(溶劑)的作用,如通過(guò)化學(xué)活性劑的吸附、浸透、溶解 和離散作用并輔以超聲波、噴淋、旋轉(zhuǎn)、沸騰、蒸汽和搖動(dòng)等物理方法去除物件表面的污漬。 在濕法清洗過(guò)程中,還需要后續(xù)的烘干及廢水處理工序,投入人員勞動(dòng)保護(hù)和環(huán)境...
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